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中國(guó)消費(fèi)者報(bào)上海訊（記者劉浩）近日，經(jīng)上海市市場(chǎng)監(jiān)管局審批通過，同濟(jì)大學(xué)國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌）在集成電路標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)方面取得新突破，三項(xiàng)晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書，幫助解決“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”的產(chǎn)業(yè)難題。

記者了解到，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)被譽(yù)為“測(cè)量砝碼”，是化學(xué)、生物等專業(yè)領(lǐng)域統(tǒng)一量值、開展量值傳遞溯源的主要載體。如食品檢測(cè)、醫(yī)院的化驗(yàn)報(bào)告、環(huán)境監(jiān)測(cè)的數(shù)據(jù)，這些和人們生活息息相關(guān)的檢測(cè)結(jié)果，都是靠標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來保證準(zhǔn)確性。

以集成電路制造為例，它是將數(shù)以億計(jì)的微小元器件集成在芯片上的制造體系，不僅是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，也是高端裝備能力的重要支撐。從日常使用的手機(jī)、電腦，到汽車、航天裝備等關(guān)鍵領(lǐng)域，都離不開它的賦能。若把集成電路制造比作“在納米尺度上蓋摩天大樓”，用于校準(zhǔn)量檢測(cè)設(shè)備的晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是“標(biāo)尺”。

此次獲證的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可為CD-SEM、AFM、缺陷檢測(cè)設(shè)備等集成電路量檢測(cè)設(shè)備提供可靠的量值標(biāo)準(zhǔn)，有效支撐周期測(cè)量、角度測(cè)量及典型缺陷檢測(cè)等應(yīng)用需求。同時(shí)該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可以幫助我國(guó)量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)與晶圓制造廠解決“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”的產(chǎn)業(yè)難題，對(duì)提升我國(guó)集成電路微納檢測(cè)設(shè)備的計(jì)量測(cè)試能力、完善產(chǎn)業(yè)計(jì)量技術(shù)體系具有重要支撐意義。

上海市市場(chǎng)監(jiān)管局自2023年率先在全國(guó)承接國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)審批改革試點(diǎn)以來，通過創(chuàng)新開展涵蓋技術(shù)能力、原始數(shù)據(jù)、計(jì)量溯源性、生產(chǎn)流程合規(guī)性等全要素現(xiàn)場(chǎng)審評(píng)，積極發(fā)揮專家“技術(shù)管家”作用，推動(dòng)和優(yōu)化“智能審批服務(wù)”“幫辦服務(wù)”“電子證書同步制發(fā)”“證書免費(fèi)郵寄送達(dá)”等舉措，讓企業(yè)感受到上海速度和溫度。

在上海市市場(chǎng)監(jiān)管局的指導(dǎo)推動(dòng)下，以同濟(jì)大學(xué)為主體，聯(lián)合張江實(shí)驗(yàn)室籌建的國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌）于2024年起開展建設(shè)，是全國(guó)集成電路領(lǐng)域首批獲批籌建的國(guó)家產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心之一。圍繞集成電路制造中的典型結(jié)構(gòu)與缺陷，重點(diǎn)開展了八英寸晶圓級(jí)100nm一維光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)200nm二維柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)100nm凹陷缺陷標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制與應(yīng)用研究。此次獲證的三項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，正是其研究取得的成果。

此外，記者獲悉，2023年，上海在全國(guó)率先獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)鑒定審批權(quán)，在浦東新區(qū)和奉賢區(qū)試點(diǎn)，頒發(fā)全國(guó)首張省級(jí)市場(chǎng)監(jiān)管部門審批的國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)證書。2025年7月，市場(chǎng)監(jiān)管總局充分肯定上海改革成果，將二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)改革推廣復(fù)制至上海全域以及內(nèi)蒙古、湖南和四川部分地區(qū)。在新修訂的《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)管理辦法》中明確，二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的審批權(quán)事權(quán)由市場(chǎng)監(jiān)管總局下放至省級(jí)市場(chǎng)監(jiān)管部門。

試點(diǎn)以來，上海頒發(fā)國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書41張覆蓋標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)56項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)上市進(jìn)度加快進(jìn)一步吸引產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)加入標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研發(fā)產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)組織方式不斷創(chuàng)新，尤其對(duì)上海集成電路、生物制造、生命健康、先進(jìn)材料等先導(dǎo)、重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)有積極意義。